產品介紹：
    等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）技術是借助于輝光放電（等離子體）使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應，從而實現薄膜技術生長的一種系的制備技術。我公司依據實驗要求設計制作該款設備以適應各類薄膜研究的需要。

主要功能和特點：
1、采用專業加熱元件，爐膛保溫材料采用多晶纖維材料，保溫性能好，耐用，拉伸強度高，無雜球，純度高，節能效果明顯優于國內纖維材料。
2、整個爐體采用雙層內膽式結構，中間有氣隙隔離，即使爐膛溫度達到點，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
3、爐膛采用節能材料制作，整機能耗僅僅只有同等傳統電爐的1/3，節能環保。
4、超溫報警并斷電，漏電保護，操作安全可靠具有多重防護功能。
5、PECVD管式爐系統由：射頻電源，管式爐加熱區系統，質子流量計供氣系統，真空系統,氣體定量系 統組成。

產品參數：
 

產品名稱		PECVD
產品型號		KJ-PECVD
500W 射頻電源
匹配功率范圍		0-500W+1%可調
工作頻率		13.56MHZ +- 0.005%
反射功率		200W
匹配方式		自動
輸出接口		UHF或N型或7/16(L29)
冷卻		強制風冷
電壓頻率Contrmodel		220V 50Hz
匹配阻抗范圍Matching impedance range		實部0-80Ω 虛部-j200~+j200(可根據負載調節阻抗) Real part 0-80Ω imaginary part -j200~ +j200 (can be adjusted according to load impedance)
管式加熱系統
滑道	帶滑道，可手動滑動爐膛，實現快速升溫或冷卻功能
加熱區長度	300mm
爐管尺寸	60mm x1600mm 外徑x長
爐管材質	高純石英管  （SiO2 ≥ 99.99%）
工作溫度	≤1100℃
溫控系統	智能化30段PID微電腦可編程自動控制
溫控精度	±1℃（具有超溫及斷偶報警功能）
加熱速率	建議0~10℃/min
加熱元件	電阻絲
額定電壓	單相220V 50Hz
可通氣體	氮氣、氬氣等惰性氣體
測溫元件	熱電偶測溫
殼體結構	雙層殼體結構帶風冷系統
真空法蘭	法蘭一端帶1/4”卡套接頭進氣口，60轉KF50快裝法蘭。另一端帶控壓閥,氣動泄壓閥和放氣閥。
供氣系統	四路精密質子流量計： 測量精度：±1.5% F.S. 流量范圍:  0~200 sccm（含10%甲烷的氬氣） 流量范圍:  0~200 sccm（含10%甲烷的氬氣） 流量范圍:  0~200 sccm（氬氣） 流量范圍:  0~500 sccm（含10%甲烷的氬氣） 通過觸屏來調節氣體流量
真空系統	旋片泵，真空度在空爐冷態可達10pa， 真空計：進口數顯真空計實時顯示真空度，精度高。
控壓系統	控壓范圍 -20kpa 到 20kpa （也可按客戶要求設計）
自動化控制 15”觸摸屏	觸摸屏界面集成控制爐子，真空泵，質量流量計以及射頻電源。爐子部分需要先設好溫度時間曲線。集成控制部分可以控制溫度曲線的啟停，真空度，氣體流量，射頻功率和射頻啟停,泄壓閥等。
標準配件	數顯真空計2個，石英爐塞1對，高密封法蘭1對，氟膠密封圈2對，高溫坩堝鉤1把，拆卸法蘭六角扳手1把，保修卡說明書1份
備注	法蘭，質量流量計，閥門，管路等用316不銹鋼材質

 

 

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。