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鄭州科佳電爐有限公司

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旋轉PECVD系統

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號KJ-T1200-S80-DZPECVD-R

品       牌

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更新時間:2024-07-13 13:05:24瀏覽次數:176次

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產品用途:PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜
產品用途:
PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等
,是科研機構和大學實驗室的理想產品。

產品介紹:
該設備是一款定制的PECVD系統,增加了傾斜、旋轉功能。該系統包含等離子射頻電源,高溫管式爐,4通道質量流量供氣系統和分子泵機組。可用于生長納米或石墨烯材料。

技術參數:
產品名稱定制旋轉PECVD系統
滑軌管式爐部分
產品型號KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
爐管尺寸80*長度1600mm
可選其他直徑Φ50,60,80,100,120,150mm
爐管材質石英管
加熱區單溫區,溫區長度400mm
工作溫度1100℃
溫度1200℃
溫控方式K型熱電偶
控制方式觸屏控制
控溫精度±1℃
溫控保護具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率0-20ºC/min可調  ,建議10ºC/min
加熱元件含鉬電阻絲
工作電壓AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)
加熱功率3KW
爐膛材料氧化鋁多晶纖維
法蘭接頭標配配有不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,磁流體密封,氣密性好可實現爐管旋轉過程中的高真空。
真空系統部分
主要參數采用高真空分子泵組,爐管內真空度可達10-3pa
氣路系統部分
名稱四路質量流量計(量程可選)
等離子電源部分
功率范圍0-500W(連續可調)
售后服務質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質保范圍)
更多規格可根據客戶需求定制
 

 

 

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 

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