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詳細摘要： 潔凈室的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應根據生產工藝對生產環境的要求確定。

詳細摘要： 6.1.2 TFT-LCD 工廠一般由陣列、成盒、彩膜、模組等生產廠房、動力廠房、化學品庫、化學品配送車間、辦公樓等建筑組成。生產廠房、辦公樓、動力廠房之間的人...

詳細摘要： 3.4.3生產環境及動力品質應符合硅太陽能電池生產工藝的要求。5.2通風5.2.3符合下列情況之一時，應單獨設置局部排風系統：太陽能電池無塵車間施工

詳細摘要： 微?？刂剖謬栏瘛⒁罂刂?.02μm甚至更小粒徑ISO1級或更嚴格。高純物質，包括高純水、高純氣體高純化學品的供應、輸送。對微振控制十分嚴格、需制定切實可行的...