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真空區域劃分：
| 真空區域 | 壓強范圍 | |
| 托（Torr） | 帕（Pa） | |
| 低真空 | 760-10 | 101325-1333 |
| 中真空 | 10-10-3 | 1333-1.33×10-1 |
| 高真空 | 10-3 -10-8 | 1.33×10-1-10-6 |
| 超高真空 | 10-8-10-12 | 10-6-10-10 |
| *真空 | ＜10-12 | ＜10-10 |
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