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北京北方華瑞自動化科技有限公司


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5400系列金屬密封型質量流量計控制器

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更新時間：2017-09-16 16:47:40瀏覽次數：473次

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產品簡介

5400系列金屬密封型質量流量計控制器- 高精度控制，- 全316L結構- 金屬密封

詳細介紹

【概述/特點】

KOFLOC公司簡介:
日本Kofloc公司是一家專業制造質量流量計/質量流量控制器的廠家,在有廣泛的銷售和應用.該公司產品廣泛應用于半導體,LCD,燃燒,實驗室分析,生物工藝等場合.
【技術規格】 


5400系列金屬密封型質量流量計控制器

經濟型，適用于半導體等行業，5400是質量控制器，5410是質量流量計
流量范圍：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制閥：常閉，電磁隔膜閥
反應時間：到達設定值±2%范圍內≤1秒
精度：±1%以內
線性：±0.5%以內
重復性：±0.2%以內
使用壓差：范圍≤5SLM時，49～294KPA，5SLM <范圍≤20SLM時，147～294KPA
壓力限制：980KPA
泄露率：1 × 10–11 Pa?m3/second 或更小
操作溫度：0～50°C
接觸介質的材質：本體: SUS316L
隔膜：Ni-CO
閥座:PTFE
密封材料:Ni,SUS316L
連接：1/4VCR
電氣連接：9針插座
控制信號：0-5VDC
輸出信號：0-5VDC
電源：5400：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 200 mA
　　　5410：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 100 mA

關鍵詞：控制閥 隔膜閥

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