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深圳市科晶智達科技有限公司
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簡要描述:GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀是依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的較簡單、可靠、經濟的鍍膜設備,適用于實驗室各種復合膜樣品的制備,以及非導體材料實驗電極的制作。
功能特點 |
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技術參數 | |||
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安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
水 | 設備需選配自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) | ||
電 | AC220V 50Hz,必須有良好接地 | ||
氣 | 設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) | ||
工作臺 | 尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 | ||
通風裝置 | 不需要 | ||
靶 | Ø50mm | ||
真空室 | Ø160mm×120mm | ||
MAX真空度 | ≤4×10-2mbar | ||
大電流 | 50mA(100mA) | ||
可設定長時間 | 9999s | ||
微型真空氣閥 | 連接Ø3mm軟管 | ||
MAX電壓 | 1600V DC | ||
機械泵 | 2L/s | ||
尺寸 | 360mm×300mm×380mm | ||
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
標準配件 | 1 | 金靶材 | 1個 |
2 | 進氣針閥 | 1個 | |
3 | 保險絲 | 2個 |
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