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深圳市科晶智達科技有限公司
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更新時間:2023-01-11 10:02:52瀏覽次數(shù):384次
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簡要描述:OTF-1200X-RTP-II-5-R是一款5英寸近距離旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)鍍膜爐,其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設(shè)備專門設(shè)計針對于熱蒸發(fā)或CSS(Close Spaced Sublimation)鍍膜實驗,其鍍膜面積可達到5“x5“,并且頂部載樣臺可旋轉(zhuǎn),提高鍍膜均勻性。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管(分別位于頂部和底部),大升溫速率為10#186;C/s 。對于探索新一代的薄膜太陽能電池,
OTF-1200X-RTP-II-5-R是一款5英寸近距離旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)鍍膜爐,其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設(shè)備專門設(shè)計針對于熱蒸發(fā)或CSS(Close Spaced Sublimation)鍍膜實驗,其鍍膜面積可達到5"x5",并且頂部載樣臺可旋轉(zhuǎn),提高鍍膜均勻性。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管(分別位于頂部和底部),大升溫速率為10ºC/s 。對于探索新一代的薄膜太陽能電池,如CdTe、硫化物和鈣鈦礦結(jié)構(gòu)太陽能電池,這是一款理想的實驗工具。
功能特點 |
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技術(shù)參數(shù) | |
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工作電壓 | AC 220V, 50/60Hz (需要50A的空氣開關(guān)) |
真空法蘭 | 真空法蘭為316不銹鋼制作 頂部法蘭(可通過控制盒進行上升和下降): • 一機械壓力表 • 一KF16接口,可以安裝防腐真空計 • 兩個不銹鋼精密針閥用于氣體的進出 • 底部法蘭: • 一KF25接口,可以與真空泵相連接 • 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封: • 真空度:20Pa(機械泵) • 真空度:10-1 Pa(分子泵) |
加熱元件和載樣臺 | 由兩組紅外燈管作為加熱元件,分別位于頂部和底部 兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機調(diào)節(jié)(觸摸屏控制),調(diào)節(jié)范圍為:2-50mm 頂部載樣臺可旋轉(zhuǎn)(觸摸屏控制),轉(zhuǎn)速:1-7rpm 為了減少熱量輻射和達到較快的冷卻速率,加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中,(不 銹鋼殼體采用316不銹鋼制作) 采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片(5"×5"×0.5mm厚度)作為載樣臺,以達到較好的加熱均勻性 注:可選購5"x5"的石墨坩堝放于底部載樣臺用來盛放蒸發(fā)原料,提高溫度均勻性
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溫控系統(tǒng) | 兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨立控制上下兩個加熱區(qū),可設(shè)置30段升降溫程序 每個溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護 PC通訊接口,軟件可安裝,可將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中 |
工作溫度 | MAX工作溫度為:800℃ 兩個加熱區(qū)之間的大溫差為300℃ |
加熱和冷卻速率 | 建議加熱速率≤ 10ºC/s(每個溫區(qū)單獨加熱) 冷卻速率> 10ºC/s (800 - 300ºC) |
熱電偶 | 兩個K型熱電偶,安裝在頂部和底部,都與氮化鋁陶瓷片相接觸 |
可選 | 此款儀器使用時需要配用一循環(huán)水冷機(58L/min) 實驗時需要一個真空泵,可與本公司選購真空泵 若要使真空腔體內(nèi)達到更潔凈的工作環(huán)境,可換購無油泵 可選購質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng),將實驗所需氣體安比列混好后導(dǎo)入到真空腔體中
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質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護(不包括密封圈、加熱元件和石英管) |
產(chǎn)品尺寸 | 790mm × 600mm × 1100mm |
使用注意事項 | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司 選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品 加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防 意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
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