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VTC-100PA 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)（加熱型）

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更新時間：2023-01-10 09:35:35瀏覽次數(shù)：285次

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備

詳細(xì)介紹

VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

功能特點

真空吸附方式固定樣件，操作簡便。
使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。
根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。
設(shè)有12組程序，每組包含6個運行階段。
電機(jī)啟動快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的*性和均勻性。
真空度大可以達(dá)到-0.08MPa。

技術(shù)參數(shù)
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	設(shè)備配有進(jìn)出水口
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	不需要
工作臺	尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通風(fēng)裝置	需要
電機(jī)功率	350W
速度范圍	500rpm-10000rpm
程序運行	可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段
增減速率設(shè)置范圍	100rpm/s-2000rpm/s
時間范圍	0-60s
吸盤	Ø19mm、Ø60mm
本機(jī)可選配加熱功能	● 加溫范圍RT-150℃； ● 加熱蓋，水槽及吸盤采用耐高溫材質(zhì)聚四氟； ● 溫度單獨控制，與主機(jī)程序控制無關(guān)聯(lián)；
尺寸	450mm×280mm×340mm
重量	20kg
可選配件	過濾器（真空泵用）
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	真空吸盤（含O型圈）	2個
	2	中心定位器（含4個定位柱）	1個
	3	滴膠注射器（20ml）	1個
	4	注射器支架	1個
	5	無油真空泵	1臺
	6	橡膠管（含卡箍）	1根