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| 壓力范圍（滿量程） | 1、2、10、100、1000 | 壓力 | 310Kpa |
|---|---|---|---|
| 電源要求 | ±15VDC?(±5%)?@?35?mA |
ACM200電容薄膜真空計
ACM200 電容薄膜壓力計，通常安裝在真空腔體或管道上，讀取實時壓力，±15VDC的電源和0 - 10VDC信號輸出的，廣泛用于半導體工程和真空工業設備。
特點
直接測量方式測量壓力
無關氣體組分影響
可應用于腐蝕性氣體環境，適合于各類制程應用
可搭配Atovac儀表，實時顯示
測量范圍從10E-4Torr至1000TOrr，覆蓋大多數制程壓力范圍
規格 | |
壓力范圍（滿量程） | 1、2、10、100、1000 |
低壓力 | 0.01%滿量程 |
精度 | ±0.25%讀數 可選：±0.15%讀數 |
溫度效應 零點 跨度 |
0.002% 滿量程/°C 0.02% 讀數/°C |
工作環境溫度 | 0℃至50℃ |
暴露于氣體中的材料 | 鉻鎳鐵合金 |
泄漏率 | 1x10-8sec/sec He |
大壓力 | 310Kpa |
電源要求 | ±15VDC (±5%) @ 35 mA |
輸出信號 | 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load |
法蘭 | 8 VCR, NW16KF |
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