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上海旦順實業(yè)有限公司

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晶圓退火爐/半導(dǎo)體真空退火爐 AOL-100GV-HMI

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更新時間：2023-05-03 10:01:22瀏覽次數(shù)：367次

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產(chǎn)品簡介

晶圓退火爐/半導(dǎo)體真空退火爐AOL-100GV-HMI工作尺寸(mm):W610×H650×D750外形尺寸(mm):W1900×H2075×D1250功率:14KW性能特點:◆智能控制系統(tǒng),PLC程序控制，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理

詳細(xì)介紹

晶圓退火爐/半導(dǎo)體真空退火爐 AOL-100GV-HMI

工作尺寸(mm): W610×H650×D750

外形尺寸(mm): W1900×H2075×D1250

功率:14KW

性能特點:

◆ 智能控制系統(tǒng),PLC程序控制，基于TCP/ip協(xié)議，與工廠系統(tǒng)對接，實現(xiàn)自動化烘烤，過程管理；

◆ 箱體周身做密閉氬弧焊接，耐高溫硅膠迫緊；

◆ 特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計，含氧量：＜20PPM；

◆ 氧含量分析儀，可實時監(jiān)測氧含量；

◆ 安裝氮氣控制裝置，箱體可以接入氮氣，N2數(shù)字流量器，可實時監(jiān)控氮氣流量；

◆ SUS310＃不銹鋼無塵化電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；

◆ 無塵等級：Class 100

◆ 真空度：＜133Pa

技術(shù)參數(shù)：

1．送風(fēng)方式：強制送風(fēng)循環(huán)。

2．溫度范圍：+60～620℃。

3．溫度波動：<±0.5℃。

4．溫度均勻：200℃±3℃;350℃±4℃;600℃±7.5℃(空箱測試)

5. 升溫速度：常溫～600℃，升溫速率0～8℃/min以內(nèi)

6. 降溫速度：500～360℃，1～2℃/min,360～200℃,5～1℃/min,200～125℃,3～1℃/min,125～

　　　　　　80℃,1～0.5℃/min，水冷+風(fēng)冷降溫。

7．控溫方式：訊號來源，采用K型鉑電阻感應(yīng)棒±0.5%。

　　溫控裝置：歐姆龍PLC + 10寸工控電腦。

　　　　　　PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù)，使用 Excel 等常用軟件可以讀取，最短數(shù)據(jù)記錄間隔5S

　　　　　　歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)

　　　　　　系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如：超溫，氮氣不足，含氧量超標(biāo)、門未關(guān)到位

　　溫控輸出：SSR輸出

8. 氮氣控制裝置：氮氣流量計，N2數(shù)字流量器，可實時監(jiān)控氮氣流量。

9. 箱體材料：外部采用1.2mm厚度冷扎碳鋼板，經(jīng)防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷。

10．內(nèi)室材料：采用 2.0mm厚度SUS310優(yōu)質(zhì)不銹鋼鋼板，周身做密閉氬弧焊接

11．保溫材料：120K級高密度硅酸鋁纖維；

12．電加熱器：覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化U型管狀（不銹鋼SUS310#）電熱發(fā)生器。

13．保護裝置：漏電斷路器，超溫保護，開門氮氣自動中斷保護，馬達(dá)過載電流保護，N2流量動態(tài)監(jiān)

　　　　　　控，排風(fēng)口壓力報警，工作期間門自動鎖閉

關(guān)鍵詞：PLC 保溫材料硅酸鋁

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