瑞士Sawatec ispay-300 噴膠機

針對具備高度結構化晶圓形貌、深度 MEMS 結構或不平整表面特征的基板，SAWATEC   公司的 iSPRAY 能夠確保盡可能均勻的噴涂效果。它是一款精密的噴膠機，適用于手動噴涂或噴霧顯影工藝，主要被應用于研究與開發實驗室，尤其是 MEMS 加工的試產和小量產場合。

經過工藝優化的噴嘴能夠結合低粘度的、特別適用于噴涂作業的光刻膠(例如 Shipley1813、AZ 4999、AZ 9260、SU8  等)生成精細的小液滴。在一個封閉式工藝室中噴嘴經由“弓”字型行進路徑進行噴涂，由此可以確保整個基板表面上均勻的噴涂效果以及高度可再現性。該設備可用于圓形或正方形基板，多可同時噴涂 4  個晶基



 

功能（基本配置）
。可編程，多 50 個程序(各包含 24 個程序段)

。適用于重復工藝的快速啟動功能

。觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置

。工藝參數：噴嘴行進路徑，噴灑臂速度，噴灑時間，錐形束形狀電氣驅動的噴灑臂，其在 X 或 Y 軸方向上的速度可選

。可調整的噴嘴，具有恒定的噴灑壓力和自動的清潔功能

。手動裝卸基板

。工藝結束時的聲音信號

瑞士Sawatec ispay-300 噴膠機