CSE系列團簇中心轉運平臺1、產品用途
提供定制化的Cluster團簇中心轉運平臺，用于將產品或襯底在各工藝腔室之間進行轉運，以便客戶進行二次開發。
2、技術參數
 

CSE系列團簇中心轉運平臺

成都華聚科技有限公司位于成都市經濟技術開發區（龍泉驛），是一家以自動化設備技術為核心，致力于數字化智能制造裝備的高科技企業。 

       公司與國內外多個研究所、高校和企業*合作，始終以超前的科技和強大的創新能力，服務于客戶。 

       公司主營業務覆蓋：Cluster團簇式半導體工藝設備、PECVD設備、PVD設備、CVD設備、核心部件（機械手、加熱器、Cluster團簇中心傳送平臺）、定制化真空設備、機電一體自動化服務（機電物聯網服務）等一系列的產品或解決方案。 

       公司始終以“技術體現我們的智慧，質量體現我們的尊嚴” 作為公司經營理念，同時加強售前售后服務，我們始終以“質量良好、服務優先、技術*”作為追求目標。
       公司匯聚了眾多相關領域的人才，針對客戶的產品特點提供專業解決方案，更能以優質的標準及非標產品超越客戶的期望，深受廣大客戶的認可和贊譽！
       公司現有26人專業團隊，并另聘請研究員1人，大學材料教授和等離子物理團隊6人，高級工程師2人，涵蓋真空工程、材料科研、等離子物理，器件物理、化管理等方面的各種人才。

Chengdu Huaju Technology was founded in 2016, the registration place is located in Chengdu economic and technological development zone.Our company concentrates on R&D , manufacture of the high-end automatic equipment as well as the vacuum application equipment of the micro-nano materials and devices, and we are the leading company of the field of vacuum. In addition, we cooperate with many scientific research institutes(colleges and universities).