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微波是一種電磁波，可產(chǎn)生高頻電磁場。介質(zhì)材料由性分子和非性分子組成，在電磁場作用下，性分子從原來的隨機(jī)分布狀態(tài)轉(zhuǎn)向依照電場的性排列取向，在高頻電磁場作用下造成分子的運(yùn)動和相互摩擦從而產(chǎn)生能量使得介質(zhì)溫度不斷提高。因為電磁場的頻率高，性分子振動的頻率很大，所以產(chǎn)生的熱量很高。當(dāng)微波加熱應(yīng)用于食品工業(yè)時，在高頻電磁場作用下，食品中的性分子（水分子）吸收微波能產(chǎn)生熱量，使食品迅速加熱、干燥。水和一般濕介質(zhì)在一定的介質(zhì)分壓作用下，對應(yīng)一定的飽和溫度，真空度越大，濕物料所含的水或濕介質(zhì)對應(yīng)的飽和溫度越低，即沸點(diǎn)溫度低，越易汽化逸出而使物料干燥，真空干燥就是根據(jù)這一熱物理特性，在真空條件下將氣相中的低壓水蒸氣及空氣等含量較少的不凝結(jié)氣體，借真空泵的抽吸而除去。
真空干燥時物料的脫水是依靠熱傳導(dǎo)將外來熱量傳遞給被干燥物料的，而在低氣壓環(huán)境下，用對流方式進(jìn)行熱傳遞速度較慢，妨礙了真空干燥優(yōu)點(diǎn)的發(fā)揮。微波干燥是利用介電加熱原理，依靠高頻電磁振蕩來引發(fā)分子運(yùn)動，使被加熱物發(fā)熱，加熱方式有別于傳統(tǒng)的對流、傳導(dǎo)與輻射，系微波直接對物體進(jìn)行加熱，傳熱這一限制因素被打破。微波真空干燥把微波干燥和真空干燥兩項技術(shù)結(jié)合起來，充分發(fā)揮各自優(yōu)勢，在一定的真空度下水分?jǐn)U散速率加快，可以在低溫條件下對物料進(jìn)行干燥，較好地保持了物料的營養(yǎng)成分。微波可為真空干燥提供熱源，克服了真空狀態(tài)下常規(guī)熱傳導(dǎo)速率慢的缺點(diǎn)，因而大大縮短了干燥時間，提高了生產(chǎn)效率。