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二手單晶爐 95直拉式單晶爐
閱讀:1628 發布時間:2018-4-26二手單晶爐 95直拉式單晶爐
產品介紹:
TDR-90型和TDR-95型單晶爐均是采用直拉(CZ)法生長法的單晶生長設備,即軟軸提拉型單晶爐,是在惰性氣體環境中以石墨電阻加熱器加熱,將硅半導體材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備.它可生產大規模集成電路所需要的高質量單晶.TDR-90單晶生長設備采用的是18-22英寸的熱系統,TDR-95采用的是22寸熱場,TDR-90型熔料量為90kg,拉制6~8英寸的單晶,TDR-95型熔料量為100kg,拉制6~8英寸的單晶。
——采用高精度減速裝置,運行穩定,傳動比準確
——磁流體密封,保證了運動部件的高密封性
——CCD測徑控制,伊爾根測徑控制,為用戶提供了多種選擇。
——安全防爆閥設計,為設備的安全使用提供了保障
——高精度大功率加熱系統。
――成品率:≥70%
產品照片:
關于公司:
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