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產品簡介：

1600度小型立式高溫管式爐是科佳電爐專為針對粉末表面沉積的CVD實驗開發而成的，采用高純氧化鋁纖維精制爐膛，該立式管式爐爐操作簡單、控溫精度高、保溫效果好、爐膛溫度均勻性高、可通氣氛抽真空等特點。

適用范圍：

 立式高溫管式爐主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室，應用于高、中、低溫CVD工藝，如碳納米管的研制，晶體硅基板鍍膜，金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。

技術參數：

可選配件：

石英爐管×1	真空法蘭×1	o型膠圈×2
高溫手套×1	坩堝鉤×1	熱電偶×1
內六角扳手x1	爐塞×2	中文說明書×1

 1．實現電爐的升溫、保溫、降溫工藝過程全自動。
 2．工藝人員可以將幾段程序編制成1條控溫曲線，保存于觸摸屏內，帶密碼保護功能，可一次性編制多條曲線。
 3．具備斷電記憶功能，查詢已完成的工藝階段。
 4．現場操作人員需要調用某條溫控曲線時，直接輸入曲線序列號即可調用該條曲線，簡單方便，杜絕錯誤發生。
 5．具備多組歷史數據記錄功能。
 6．具備同時顯示多段溫度及時間功能。

 1．氣體從鋼瓶出來，經過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統的入口，再經過質子流量計控制氣體流量，然后經過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。
 2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數盤與質子流量計安裝在同一面板上。
 3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
 4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
 5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。 。

 該耐高溫真空泵采用內置風扇和大面積散熱的風冷設計，大幅度降低泵的表面溫升；采用耐高溫密封圈和進口耐高溫泵油，更加適合真空管式爐的高溫使用環境。采用進口原裝油封，確保整機長期運行時的可靠密封。泵體采用一體化設計，零部件少，重復性好，外形緊湊，便于保養和維修。此外還內置有齒輪泵和恒壓供油機構強制供油，即便在高吸氣壓強下也能穩定可靠地運行。自動防返油閥設計，有效的保護了你的真空系統在停機后免受泵油的污染；該產品還設計有兩檔氣鎮，可滿足不同工藝對蒸汽排出量的需求。