氦質譜檢漏儀燃料電池Fuel Cell領域檢漏應用（天津某科研院所）
一、燃料電池檢漏原因
燃料電池（Fuel cell）是將所供燃料的化學能直接變換為電能的一種能量轉換裝置，是通過連續供給燃料從而能連續獲得電力的發電裝置。由于其具有發電效率高，適應多種燃料和環境特性好等優點，是繼火電、水電、核電之后的第四代發電方式，被譽為 21 世紀清潔、高效的動力源，近年來獲得了飛速發展。質子交換膜燃料電池就是其中的一種，其單電池由陽極、陰極和質子交換膜組成，多個單體電池以串聯方式層疊組合而成電堆，即構成質子交換膜燃料電池電堆，電堆的核心是膜電極組件和雙極板。為確保膜電極的生產品質和生產效率，必須建立燃料電池膜電極的真空檢漏裝置，能快速、準確地對膜電極進行真空檢漏。
二、燃料電池檢漏方法
Pfeiffer HLT 560 氦質譜檢漏儀提供兩種檢漏模式，負壓模式 (vacuum mode) 及正壓模式 (sniffer mode) ，燃料電池膜電極的真空檢漏裝置采用的是負壓模式檢漏，其檢漏步驟如下：
保壓：將燃料電池放入保壓罐中，充入四個大氣壓的氦氣，保壓兩小時；
卸壓：將氦氣從排氣口回收，以便重復利用，將燃料電池取出；
將燃料電池放入充有 4 個大氣壓氦氣的保壓罐中，保壓 2 個小時
1) 沖洗：將保過壓的燃料電池用氮氣沖洗表面，以便殘余在表面的氦氣沖走；
2) 密封：將燃料電池放入檢測盒中，注意密封，將蓋子蓋好；
3) 測試：啟動氦質譜檢漏儀，使用氦質譜檢漏儀真空模式，首先氦質譜檢漏儀內部前級泵對檢測盒抽真空，測試口到達一定真空度（25 mbar 業界zui高）時開始測試，如果有燃料電池有泄露的話，氦質譜檢漏儀漏率值會跳動，并且數值上升，產生漏電報警。
氦質譜檢漏儀操作簡圖如圖：
氦質譜檢漏儀實體圖如圖：
三、燃料電池檢漏形式說明
燃料電池膜電極的真空檢漏裝置主要包括檢測盒，連接管路，壓力閥，保壓灌，壓力表，角閥，支架和氦質譜檢漏儀等。壓力表安裝在保壓灌頂部，為便于操作，可將汽缸，小車，支架和氦質譜檢漏儀集成在一起。另外對于汽缸的密封經常更換 O 型圈，因為重復使用會影響到密封的可靠性，進而影響測漏的效果。
檢測過程中可以通過手動角閥的控制，對兩個檢測盒分別進行檢測。
四、氦質譜檢漏儀其它應用
一般真空相關設備應用如濺鍍 (suppering system) 機臺，蒸鍍機臺 (evaporator) 檢漏，低溫容器，高壓真空開關，高壓容器，電子零件如震蕩器 (oscillator) 等等均可應用普發氦質譜檢漏儀來進行檢漏。
伯東企業（上海）有限公司是德國普發*代理商。伯東真空 主營產品 德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應用于各種條件下的 真空測量(真空計, 真空規管); 氦質譜檢漏儀；質譜分析儀；真空系統以及 Cryo pump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源.Gamma離子泵。
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