EGK光刻膠烘箱的詳細資料：
一．烘箱特點：
1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100級；排氣口：３寸(附自動啟閉風門)
二．執行與滿足標準：
1.GB/T11158-1989高溫試驗箱技術條件
2.GB2423.2-1989試驗B
三．產品用途：
無塵潔凈烤箱適用于光刻膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、實驗室等生產及科研部門。
無塵潔凈烤箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
四．無塵潔凈烤箱技術參數：
1.設備型號：EGK-180
2.主要技術指標：
2.1無塵等級：Class 100;
2.2溫度范圍： 60～+300℃；
2.3溫度均勻度：200℃±3℃、300℃±4℃;
2.4溫度波動度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動形式。
2.7工作尺寸：W600×H600×D500mm
外形尺寸：W950×H1510×D1250mm
2.8電源：380v , 50Hz，6.5Kw
3、箱體結構：
3.1潔凈烤箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產生器，防機臺本身產生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內膽材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤產生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密加工(防污染)。
4、溫控系統
4.1采用日本OMRON E5A型溫度控制器，控制器LED數字顯示及設定、PID自動演算、薄膜設定，度±0.3%FS；
4.2訊號來源：采日制進口PT100溫度傳感器。
4.3輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。
5、完善的安全保護措施：
漏電斷路器、
控制線路保險絲裝置、
超溫防止保護裝置、
電熱過電流保護裝置、
馬達過電流保護、
機臺異常蜂鳴器警示
逆向防止器、
無塵烤箱門面安全開關
6、選購設備：
6.1 可程式溫控器
6.2六點溫度記錄儀
6.3三色指示燈
6.4烘烤層架
