日本TOFCO東富科流量控制閥 藥液純水用FCV-C80
從外部流量計接收當前流量信息并自動控制設定流量。非常適合控制半導體清洗設備中化學品和純水的流速。
將設定值與外部流量信號進行比較實施反饋控制
使用高性能步進電機對流量進行高精度控制
搭載串行通信功能(MobusRTU方式， *大32臺串聯)
設定流量值方式可選擇(模擬量輸入或串口通信)
高速的控制反應性能(C40型號:約1秒、C60/C80約2秒)
高速的閥體全開動作(C40型號: 約0.3秒、C60/C80約1秒)
微量氧分析儀，頂空分析儀，露點儀，高溫濕度儀，OXY.IQ氧分析儀
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